光學顯微鏡的發(fā)展舊，已由普通的二維成像發(fā)展為三維結(jié)構(gòu)的立體成像.橫向分辨率與縱向分辨率有了很大的提高.新的光學技術(shù)和日益發(fā)展的數(shù)字式成像信息處理系統(tǒng)為研究表面結(jié)構(gòu)和立體結(jié)構(gòu)提供了更加有效的方法.

    光學顯微技術(shù)的革命性發(fā)展開始于50年代末期共焦掃描原理出現(xiàn)，基于這一原理的共焦掃描光學顯微鏡已成為三維物體結(jié)構(gòu)再現(xiàn)的有利工具.這種顯微鏡能消除非焦點結(jié)構(gòu)的信息對成像的影響，實驗證明對生物樣品的研究具有特別的*性.例如，用高速掃描共焦成像系統(tǒng)與普通顯微鏡聯(lián)合使用來研究生物樣品取得了很好的效果。

    掃描隧道顯微鏡由于能對樣品在原子水平上成像及進行信息處理而受到廣泛重視。這一技術(shù)的光學模擬技術(shù)—近場光學顯微鏡也同時發(fā)展起來。這種顯微鏡打破了波長限度的分辨率限制，從而可得到更多的樣品表面信息.

    微分掃描光學顯微鏡的發(fā)展則別具特色與多樣性。由于普通掃描顯微鏡在結(jié)構(gòu)沒有變化的情況下也會產(chǎn)生假信號，所以系統(tǒng)的潛在能力不能充分發(fā)揮出來.而微分掃描光學顯微鏡，只有在結(jié)構(gòu)上相鄰兩點有結(jié)構(gòu)的變化時才能有信號，這樣使顯微鏡的技術(shù)指標得到了進一步提高。在這方面近年發(fā)展迅速，如微分相位光學顯微鏡，微分振幅光學顯微鏡，光導纖維掃描微分相位相干光學顯微鏡等竟相推出。